日本KOFLOC 5400系列質(zhì)量流量控制器，它是一種通過(guò)金屬密封結構具有高氣密性的產(chǎn)品，并增加了切口接頭。

日本KOFLOC 5400系列質(zhì)量流量控制器：

雖然外觀(guān)是傳統產(chǎn)品，但傳感器驅動(dòng)方法已得到改進(jìn)，以減少零漂移。
它是一種通過(guò)金屬密封結構具有高氣密性的產(chǎn)品，并增加了切口接頭。

金屬密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下

適用于高真空、半導體、劇毒、強腐蝕氣體環(huán)境下

±15VDC供電性能穩定，0-5V模擬信號更加通用

日本KOFLOC 5400系列質(zhì)量流量控制器

性能參數：

 電器連接：

   ★使用注意

一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過(guò)濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過(guò)90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過(guò)20微米》。

二：用肥皂水對管路進(jìn)行泄漏檢測時(shí)，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能?chē)娫趦x表或電氣插頭上。

三：安裝前，請將設備管路進(jìn)行整體吹掃。

四：耐壓1.0Mpa，進(jìn)口大壓力5公斤。

五：需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候，確認進(jìn)/出口沒(méi)流量沒(méi)壓力下 再操作。

警告

流量范圍附帶的規格（流量范圍，精度等）是N2或空氣轉換中的規格。
有關(guān)MFC規格，請單獨查詢(xún)。

接線(xiàn)連接

Dsub 9針KFC標準引腳排列

日本KOFLOC 5400系列質(zhì)量流量控制器

尺寸圖：