日本KOFLOC質(zhì)量流量控制器-內拋光，它實(shí)現了無(wú)焊接結構（VCR規格），金屬密封的基本性能，以及半導體工藝氣體控制所需的±1％精度。板載傳感器的響應能力。它具有出色的分辨率，可以處理1 sccm（N2）的微流量。

日本KOFLOC質(zhì)量流量控制器-內拋光概述：

• 通過(guò)使用溫度跟蹤型電流差檢測流量傳感器實(shí)現高精度，高速傳感器響應
• 采用電磁鐵電磁閥常閉閥
• 由于無(wú)焊接結構（VCR規格），金屬密封，泄漏低
• 采用隔膜閥，減少死體積
• 面對面，體型和接線(xiàn)連接與其他公司的更換兼容

日本KOFLOC質(zhì)量流量控制器-內拋光

5100系列性能參數： 

5100系列電器連接：

5100系列使用注意：

一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過(guò)濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過(guò)90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過(guò)20微米》。

二：用肥皂水對管路進(jìn)行泄漏檢測時(shí)，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能?chē)娫趦x表或電氣插頭上。

三：安裝前，請將設備管路進(jìn)行整體吹掃。

四：耐壓1.0Mpa，進(jìn)口大壓力5公斤。

五：需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候，確認進(jìn)/出口沒(méi)流量沒(méi)壓力下 再操作。

警告

流量范圍附帶的規格（流量范圍，精度，響應性等）是N2或空氣轉換中的規格。
另外，生產(chǎn)規格條件是初級側小于300kPa，次級側向大氣開(kāi)放。
有關(guān)壓力條件，請另行咨詢(xún)。